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行業動態 行業動態

行業動態

精益求精于半導體技術電耐磨性公測

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來原:admin 時長:2024-03-06 13:16 查詢量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖造(zao)成的源表P300+測試探針臺

異常現象:測試(shi)中(zhong)存在(zai)一個3nA左右的漏電(dian)流

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圖:非常檢查曲線擬合圖

異常原因:測(ce)試(shi)現場(chang)的(de)(de)(de)連接線屏蔽層接地不達標,外(wai)界電(dian)磁環境的(de)(de)(de)作用(yong)下使設(she)備對大地的(de)(de)(de)電(dian)位發生變(bian)化(hua),造成設(she)備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:優化提升后檢驗的身材趨勢圖


2、三極管測試

測試設備:2臺直流電源(yuan)源(yuan)表S300+測(ce)試(shi)探針(zhen)臺

異常現象:源表(biao)輸出0-3V的電(dian)壓(ya)掃描(miao),當輸出的電(dian)壓(ya)小于0.5V時,源表(biao)回讀的電(dian)壓(ya)值為(wei)-0.5V

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圖:失敗測試英文最終結果

異常的理由:電(dian)極臺不能一(yi)定(ding)接地,電(dian)極臺組成上(shang)產(chan)生鋁(lv)合(he)金,在通電(dian)的(de)(de)的(de)(de)區域中會產(chan)生靜電(dian)反(fan)應,可以對各種測(ce)試最終引來后果

系統優化政策:將測試(shi)探針臺(tai)完成輸電線應用(yong)山河(he)

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圖:推廣后試驗結果顯示

3、芯片測試

測試設備:交流電源表S300+電極臺

異常現象:源表(biao)未輸送(song),測試探針(zhen)冒火(huo)苗

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圖:出錯測式-檢測器冒火苗(miao)

異常原因三同水平線纜GUARD走勢沒有支撐。GUARD走勢如拼接科學合理,其電勢與走勢層通常同一,于是漏電小,因而對走勢起到了沒事定的庇護的功效;可GUARD走勢沒有支撐,其與走勢層的電勢差極大,這種漏電極大,對走勢的干擾巨大

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優化措施:將GUARD4g走勢應(ying)用(yong)源表,使GUARD4g走勢起到(dao)了自我保(bao)護效用(yong)

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源(yuan)表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:十分試驗效果

異常原因:客戶使用的同(tong)軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸(zhou)線,將探針臺(tai)通(tong)過導線接入大地


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圖:系統優化后測試測試結(jie)果顯示

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