1、前言

        在光電集成電路芯片和集合三極管新工藝中，服務、晶圓、基帶芯片的檢測是必無可少的教學環節。跟隨著光電集成電路芯片檢測水平的發展壯大，數值化源表SMU緊密結合檢測器臺的程序樂隊組合現已被比較廣泛應該用于服務/很小集成電路芯片的電學屬性查驗中。數值化源表SMU滿足源測功能表，行出現功率-電壓電流(I-V)屬性曲線美，是光電集成電路芯片服務、集成電路芯片電耐磨性分析方法測量方法的目標；檢測器臺有帶有大量手動、半手動和全手動三大，隨著檢測必須要 確定相互配套的服務能夠。在備選時必須要 準備檢測器的原料及及針尖的直徑與模樣，檢測器原料的不同，其特性阻抗也并不同等；顯然，檢測器尖破損和破壞也會對檢測結果顯示形成導致。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT接觸展示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電(dian)(dian)極臺與源表(biao)(biao)的(de)拼(pin)(pin)接常見的(de)有(you)多種(zhong)，1種(zhong)運(yun)(yun)行同(tong)定位(wei)(wei)水平(ping)線拼(pin)(pin)接，另(ling)1種(zhong)運(yun)(yun)行三同(tong)定位(wei)(wei)水平(ping)線拼(pin)(pin)接。當(dang)側量小工作(zuo)電(dian)(dian)壓(nA、pA)時，應運(yun)(yun)行三同(tong)軸(zhou)呼叫轉(zhuan)移模快和三同(tong)定位(wei)(wei)水平(ping)線纜(lan)。在(zai)傳輸源表(biao)(biao)守護端自(zi)測集成運(yun)(yun)放中(zhong)，是由于三同(tong)軸(zhou)的(de)守護層與內芯當(dang)中(zhong)是等電(dian)(dian)位(wei)(wei)差(cha)，不就(jiu)有(you)漏工作(zuo)電(dian)(dian)懷孕流產生，要能增強小工作(zuo)電(dian)(dian)壓自(zi)測gps精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2隔熱；3內屏幕層；4里頭層；5外屏幕層；6外護線套）

圖：三同中軸線纜等效電源線路圖

  上圖圖示為三同中軸數據線等效電路原理圖，輸入輸出高端品牌HI和Guard區間內的電極電位差近乎為0，以此消滅數據線自己本身的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系類直流變壓器源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸無線聯接器與一般的兩芯無線聯接器有一定不同于，可同樣接駁4g信息、接地保護和手機關閉層，手機關閉的效果明顯。和多芯數據線好于，三同軸數據線成分簡單，牢靠性好；和兩芯同軸數據線好于，有更加高的手機關閉耐磨性和小4g信息的傳遞水平。三同軸數據線的無線聯接手段運行了GUARD4g信息，能起了手機關閉功能，更有助于于小4g信息的檢測的。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

適用杜邦線轉BNC母頭采取無線連接；

- 三同軸連接 -

選擇三同軸電話轉接電源模塊做好對接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

隨時適用三同中線做出連到；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將平凡的三同軸拆卸為壓力專門的三同中心線；高壓變壓器變壓器三同軸金屬插頭的耐沖擊性能較少，普賽斯食用的高壓變壓器變壓器三同軸金屬插頭可能耐沖擊3500V。

圖(tu)：左(zuo)-高電壓三(san)同軸(zhou)、右-普遍三(san)同軸(zhou)

HCPL 100大電流源表

大直流電測定時，單根檢測器限制值的直流電比較有限，直流電過大已經會引發的燒針跡象，影響到公測最后，因為需應用多檢測器電容串聯。

圖：多電極串連圖示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面金屬電極對接關心

圖：異面電極材料銜接關(guan)心

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)結構上有很多金(jin)屬(shu)(shu)，在帶(dai)(dai)電(dian)的(de)(de)環境(jing)下會(hui)存在很強的(de)(de)靜電(dian)，一般探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)會(hui)自帶(dai)(dai)大(da)地(di)連接(jie)(jie)線(xian)，使用(yong)中將探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)接(jie)(jie)大(da)地(di)，避免釋放靜電(dian)給測試帶(dai)(dai)來影(ying)響(xiang)。一般地(di)線(xian)分為兩類：一種是(shi)工作(zuo)接(jie)(jie)地(di)，另一種是(shi)安(an)(an)全(quan)性(xing)接(jie)(jie)地(di)。工作(zuo)接(jie)(jie)地(di)是(shi)把金(jin)屬(shu)(shu)導(dao)(dao)體銅塊埋(mai)在土壤里， 再通過導(dao)(dao)線(xian)引(yin)出地(di)面，將導(dao)(dao)線(xian)接(jie)(jie)入(ru)(ru)設備的(de)(de)接(jie)(jie)地(di)端(duan)口，形(xing)成接(jie)(jie)地(di)回路(lu)。 安(an)(an)全(quan)性(xing)接(jie)(jie)地(di)是(shi)指(zhi)使用(yong)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)金(jin)屬(shu)(shu)外(wai)殼(ke)(ke)自帶(dai)(dai)的(de)(de)接(jie)(jie)地(di)線(xian)進行接(jie)(jie)地(di)，當探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)金(jin)屬(shu)(shu)外(wai)殼(ke)(ke)發生絕(jue)緣損(sun)壞，外(wai)殼(ke)(ke)帶(dai)(dai)電(dian)時(shi)，電(dian)流沿著其外(wai)殼(ke)(ke)自帶(dai)(dai)的(de)(de)接(jie)(jie)地(di)線(xian)接(jie)(jie)入(ru)(ru)大(da)地(di)，以達(da)到安(an)(an)全(quan)的(de)(de)目的(de)(de)。

-連接線接地：探針臺的(de)(de)連接線(xian)(xian)為(wei)同(tong)軸(zhou)(zhou)線(xian)(xian)，兩(liang)(liang)根同(tong)軸(zhou)(zhou)線(xian)(xian)的(de)(de)內芯是(shi)信號(hao)線(xian)(xian)，從而導(dao)致兩(liang)(liang)根同(tong)軸(zhou)(zhou)線(xian)(xian)的(de)(de)外屏(ping)蔽(bi)(bi)層懸空，未起到屏(ping)蔽(bi)(bi)的(de)(de)作用，在磁場環境復雜(za)的(de)(de)情況下會對測試產生較大的(de)(de)干擾。因(yin)此(ci)，為(wei)了(le)獲得較好的(de)(de)測試效果，需要將同(tong)軸(zhou)(zhou)線(xian)(xian)纜的(de)(de)外屏(ping)蔽(bi)(bi)層接入(ru)工作地(di)線(xian)(xian)。

-關閉光源：很多器件和材(cai)料對光(guang)(guang)源(yuan)敏感，測試中如果(guo)不關閉光(guang)(guang)源(yuan)會影響(xiang)測試結果(guo)，所以(yi)測試時盡量在無(wu)光(guang)(guang)源(yuan)影響(xiang)的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為(wei)pA級別，需要給探針(zhen)臺增加屏蔽(bi)罩。

-異面電極材料連接：異面電(dian)(dian)極材料連接(jie)時(shi)通(tong)常會使用探(tan)針臺Chuck盤(pan)(pan)做電(dian)(dian)極，但是Chuck盤(pan)(pan)的(de)平整度會對材料的(de)接(jie)觸(chu)面有影響(xiang)，那么此時(shi)就需要使用引電(dian)(dian)極。